آلات الأشعة فوق النفسية هي أكثر الأدوات تعقيدا التي يصنعها البشر. سلسلة التوريد لديهم تضم أكثر من 10,000 مورد فردي، وأي واحد منهم لا يتوسع بسرعة كافية قد يؤدي إلى عنق زجاجة في صناعة الذكاء الاصطناعي بأكملها. تطلق أداة EUV أشعة ليزر على قطرة صغيرة من الصفيح ثلاث مرات بدقة، مما يطلقها بقوة كافية لتصدر ضوء EUV. تنعكس تلك الإضاءة على 18 مرآة متعددة الطبقات على الرقاقة. في الوقت نفسه، المنصتان داخل الجهاز - واحدة تحمل القالب والأخرى تحمل الشريحة - تطير ذهابا وإيابا بسرعة 9G في اتجاهين متعاكسين. يجب أن تهبط التمريرات المتتالية فوق بعضها البعض حتى تصل إلى 3 نانومتر. إذا كان أي جزء من هذا غير صحيح، ينخفض العائد إلى الصفر. خذ مكونا واحدا فقط. يتم توفير المرايا في الغالب من قبل كارل زايس، الذي يعمل عليها ربما أقل من ألف شخص. بدوره، يعتمد كارل زايس على آلات من سويسرا لترسيب كل طبقة، ويستخدم عملية طلاء تم تطويرها بالاشتراك مع شركة ألمانية مختلفة. لم تستيقظ أي من هذه الشركات. هم يزيدون الإنتاج تدريجيا، لكن ليس المستويات اللازمة لما تريده المختبرات بحلول نهاية العقد. @dylan522p يتوقع أن الإنتاج لا يمكن أن يتجاوز حوالي 100 جهاز EUV سنويا بحلول عام 2030، مهما ضخ من المال على المشكلة. على المدى المتوسط، هذا هو عنق الزجاجة الرئيسي في التكبير.