EUV-koneet ovat monimutkaisimpia työkaluja, joita ihmiset valmistavat. Heidän toimitusketjussaan on yli 10 000 yksittäistä toimittajaa, ja mikä tahansa niistä ei skaalaa tarpeeksi nopeasti, voi tukahduttaa koko tekoälyteollisuuden. EUV-työkalu ampuu lasereita pieneen tinapisaraan kolme kertaa tarkasti peräkkäin, räjäyttäen sen tarpeeksi voimakkaasti EUV-valoa varten. Tuo valo heijastuu 18 monikerroksisesta peilistä kiekkoon. Samaan aikaan koneen sisällä olevat kaksi alustaa – toinen sabluunan, toinen sirua – lentävät edestakaisin 9G-nopeudella vastakkaisiin suuntiin. Peräkkäiset ohitukset laskeutuvat päällekkäin 3 nanometrin tarkkuudella. Jos jokin osa tästä on pielessä, tuotto menee nollaan. Otetaan vain yksi komponentti. Peilit toimittaa pääasiassa Carl Zeiss, jolla on todennäköisesti alle tuhat ihmistä työskentelemässä niiden parissa. Carl Zeiss puolestaan käyttää sveitsiläisiä koneita kerrosten käsittelyssä ja käyttää pinnoitusprosessia, jonka on kehittänyt yhdessä toisen saksalaisen yrityksen kanssa. Yksikään näistä yrityksistä ei ole herännyt. He lisäävät tuotantoa vähitellen, mutta eivät lähellekään laboratorioiden tarvittavia tasoja vuosikymmenen loppuun mennessä. @dylan522p ennustaa, ettei tuotanto voi kasvaa yli noin 100 EUV-konetta vuodessa vuoteen 2030 mennessä, riippumatta siitä, kuinka paljon rahaa heitettäisiin ongelmaan. Keskipitkällä aikavälillä tämä on keskeinen pullonkaula skaalauksessa.