Mesin EUV adalah alat paling rumit yang dibuat manusia. Rantai pasokan mereka memiliki lebih dari 10.000 pemasok individu, dan salah satu dari mereka yang tidak menskalakan cukup cepat dapat menghambat seluruh industri AI. Alat EUV menembakkan laser pada tetesan timah kecil tiga kali dalam urutan yang tepat, meledakkannya cukup keras untuk memancarkan cahaya EUV. Cahaya itu memantul dari 18 cermin berlapis-lapis ke wafer. Sementara itu, dua platform di dalam mesin - satu memegang stensil, satu memegang chip - terbang bolak-balik pada 9G ke arah yang berlawanan. Lintasan berturut-turut harus mendarat di atas satu sama lain hingga dalam jarak 3 nanometer. Jika ada bagian dari ini yang mati, hasil menjadi nol. Ambil hanya satu komponen. Cermin sebagian besar disediakan oleh Carl Zeiss, yang mungkin memiliki kurang dari seribu orang yang mengerjakannya. Pada gilirannya, Carl Zeiss mengandalkan mesin dari Swiss untuk menyimpan setiap lapisan, dan menggunakan proses pelapisan yang dikembangkan bersama dengan perusahaan Jerman yang berbeda. Tak satu pun dari perusahaan-perusahaan ini yang terbangun. Mereka secara bertahap meningkatkan produksi, tetapi tidak mendekati tingkat yang diperlukan untuk apa yang diinginkan laboratorium pada akhir dekade ini. @dylan522p memprediksi produksi tidak dapat melampaui sekitar 100 mesin EUV per tahun pada tahun 2030, tidak peduli berapa banyak uang yang dilemparkan ke masalah tersebut. Dalam jangka menengah ini adalah hambatan utama pada penskalaan.